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BOB体育app平台下载 “博士学术论坛”系列报道(2021年12月)

作者:BOB体育app平台下载时间:2021-12-06点击数:

12月3日中午,我院举办了本学期第二场 “BOB体育app平台下载博士学术论坛”。本次论坛由袁昌荣博士作题为“热膜式气体流量传感器污染机理及抗污染方法研究”的学术报告。

学术报告内容为:热膜式气体流量传感器是随着MEMS技术的出现而迅速发展起来的一种新型传感器,因其动态响应速度快、功耗低、体积小、易安装等特点,很快在航空、航天、生物医学、汽车、环境监测等领域得到了应用。但一些用户陆续反映,传感器使用一段时间后,其测量精度出现不同程度的下降,带来了流量测量不准或据此进行的后续控制失效的问题,影响了该类传感器的进一步推广和应用,也成了该类传感器的设计和制造企业亟待解决的一个迫切问题。为此,课题围绕造成传感器精度下降的原因及其形成机理、以及相关精度保持技术等开展了理论和试验研究工作。首先,通过试验研究和分析发现了热膜式气体流量传感器精度下降的原因及其主要影响因素。通过特别设计的关键力学因素对比试验,发现芯片表面电场力是造成颗粒吸附堆积的作用力因素。然后,基于气固两相流理论、电场理论等建立了热膜式气体流量传感器芯片表面颗粒物吸附污染模型。最后,在理论分析和试验的基础上,研究了降低传感器芯片表面污染程度的技术方法。本课题研究结果为热膜式气体流量传感器结构改进设计和合理使用提供了基本的科学依据和参考方法,相应成果具有广泛应用前景。


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